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【2h】

Synchrotron X-ray Reflectivity Studies on Nanoporous Low Dielectric Constant Organosilicate Thin Films

机译：纳米多孔低介电常数有机硅酸盐薄膜的同步辐射X射线反射率研究

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作者
Weontae Oh; Yongtaek Hwang; Moonhor Ree;
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年度 2007
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